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日本Engis超精密專業(yè)拋光相關(guān)設(shè)備及技術(shù)，針對氮化鋁等特殊脆硬材料可符合業(yè)界最高規(guī)格之超精密鏡面拋光要求。氮化鋁基板之特殊脆硬材料已使用于半導(dǎo)體設(shè)備制程之零組件以及LED散熱用的氮化鋁基板，目前日本國內(nèi)的大多數(shù)氮化鋁基板拋光加工廠商皆采用日本Engis超精密拋光設(shè)備及研磨耗材，而氮化鋁基板之粗糙度要求已經(jīng)在3nm以下，日本Engis以超高拋光技術(shù)制程并搭配優(yōu)異研磨材料，簡易并快速地達(dá)到粗度3nm以下，并可以依照客戶要求研發(fā)合適的制程，以解決客戶在氮化鋁基板拋光上之盲點。