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三機(jī)一體式，多功能精磨系統(tǒng)
為滿足下一代材料「寬能隙半導(dǎo)體」製程應(yīng)用而設(shè)計(jì)
多工序、精簡(jiǎn)設(shè)計(jì)，節(jié)省空間， 可彈性調(diào)整滿足客戶特定製程需求，整合成一套系統(tǒng)
立式減薄磨床
平面研磨
CMP拋光機(jī)
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