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  • 背面減薄機(jī)HVG系列,

engis研磨拋光設(shè)備

本機(jī)為我公司新一代背面減薄機(jī),兼顧硬脆性材料,例如:藍(lán)寶石、碳化硅、鎢鋼金屬、陶瓷片,以及軟脆性材料, 例如: 硅片、光學(xué)玻璃、石英晶、InP、GaAs、GaSb等及其他半導(dǎo)體材料的高精度切削減薄。

砂輪主軸 伺服電機(jī) 2000RPM
夾具工位主軸 400RPM
砂輪下降行程范圍0~105mm
減薄進(jìn)度精度控制min: 0.1um/Sec (適用于超薄易碎片減薄)
砂輪尺寸Φ250mm
砂輪頭個(gè)數(shù)1
工件固定方式兩種: 1,多孔真空盤(pán)吸附 (選配,單片/次)
   2, 陶瓷盤(pán)(貼蠟:多片/次,可加工3片4")

多孔真空吸附

陶瓷盤(pán)貼蠟
真空吸附控制方式人性化設(shè)計(jì): 腳踏控制(安全、方便)
夾裝盤(pán)尺寸Φ250mm
加工晶片尺寸2Inch\4Inch\6Inch 
晶片加工均勻性3um
目標(biāo)厚度誤差±2um
最小加工工件厚度50um
厚度自動(dòng)檢測(cè)裝置可選配
砂輪自動(dòng)修整裝置可選配
多空真空吸附盤(pán)可選配
操作控制方式PLC電腦觸摸屏
設(shè)備尺寸1000*1100*1800mm
設(shè)備毛重2000KG


主要特點(diǎn):

1. 高去除率 : 參考值:SiC 15um~20um/min, Si Wafer 40~50um/min (具體視砂輪的粒徑、材質(zhì)及工藝而定)
2.行業(yè)領(lǐng)先的高精度減薄進(jìn)度控制: min 0.1um/秒,特別適用于超薄易碎片減薄。
3.日本進(jìn)口變頻器,日本進(jìn)口PLC觸摸屏,可實(shí)現(xiàn)多樣化自主操作工藝 
4. HMI人機(jī)互動(dòng),數(shù)據(jù)界面直讀系統(tǒng) 
5. 加工精度行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先 :晶片加工均勻性≤3um, 目標(biāo)厚度誤差:±2um,最小加工厚度:50um
6.日本原裝高轉(zhuǎn)速伺服電機(jī),確保設(shè)備高精度、高穩(wěn)定性運(yùn)行。
7. 工件固定方式可選配置,滿(mǎn)足不同產(chǎn)能需求多孔真空吸附適用于研發(fā),單片加工;陶瓷盤(pán)貼蠟固定,適用于產(chǎn)能效益,設(shè)備兼容性高,2"~6"兼容。
8. 設(shè)備性能穩(wěn)定可靠,損耗率低。
9. 晶片厚度自動(dòng)測(cè)厚系統(tǒng)可選配,滿(mǎn)足客戶(hù)自主多樣化精度需求 
10. 緩慢啟動(dòng)﹑緩慢停止裝置。
11. 完善的售后服務(wù),12小時(shí)內(nèi)電話(huà)或郵件回復(fù)問(wèn)題,48小時(shí)內(nèi)工程師到達(dá)客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)。
12. 質(zhì)保期間31次工程師例行拜訪,實(shí)時(shí)解決客戶(hù)的需求和突發(fā)問(wèn)題。
13. 設(shè)備適用于多種材料加工,高硬性SiC材料、藍(lán)寶石、軟性材料SiInPGeGaAsGaSb等等。


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