靜電卡盤（Electrostatic Chucks，ESC），也稱靜電吸盤，是一種適用于真空及等離子體工況環境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附原理進行超薄晶圓片的平整均勻夾持。由于靜電吸附方式具有溫度可控、吸附力均勻，對大面積（8 吋級以上的晶圓采用）薄片工件吸附時不會產生傷痕和皺紋，同時沒有晶片邊緣排除效應等優點，被作為現代半導體制造業中重要的晶片夾持工具，成為當今超大規模集成電路高端裝備刻蝕機（ETCH）、離子注入機、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等半導體制造設備的核心部件，在等離子和真空環境下的刻蝕、化學氣相沉淀、離子植入等晶圓制造加工過程中得到廣泛應用。

     本公司提供多功能性和速度的engis研磨和拋光機系列。本設備適用于半導體生產中各種高品質陶瓷元件產品的研磨和拋光工藝。晶圓尺寸可應用于最大12英寸的卡盤。針對晶圓片厚度控制、晶圓片平整度、表面粗糙度和平行度的先驗拋光工藝。