靜電卡盤（Electrostatic Chucks，ESC），也稱靜電吸盤，是一種適用于真空及等離子體工況環(huán)境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附原理進(jìn)行超薄晶圓片的平整均勻夾持。由于靜電吸附方式具有溫度可控、吸附力均勻，對大面積（8 吋級以上的晶圓采用）薄片工件吸附時不會產(chǎn)生傷痕和皺紋，同時沒有晶片邊緣排除效應(yīng)等優(yōu)點，被作為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造業(yè)中重要的晶片夾持工具，成為當(dāng)今超大規(guī)模集成電路高端裝備刻蝕機(jī)（ETCH）、離子注入機(jī)、化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等半導(dǎo)體制造設(shè)備的核心部件，在等離子和真空環(huán)境下的刻蝕、化學(xué)氣相沉淀、離子植入等晶圓制造加工過程中得到廣泛應(yīng)用。

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