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氮化鋁ALN加工中用到鉆石液,銅盤,氧化鋁拋光粗拋,精拋液,拋光墊等耗材;
加工精度可以達到小于10nm。
ALN 氮化鋁 加工用鉆石液 拋光液 拋光墊
碳化硅SIC專用拋光液PA2004
engis懸浮型 拋光液
CMP 化學拋光液
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